記者從北京石墨烯研究院獲悉，中國科學院院士、北京大學/北京石墨烯研究院院長劉忠范與中科院半導體所研究員劉志強、北京大學物理學院研究員高鵬等合作，提出了一種納米柱輔助的范德華外延方法，國際上首次在玻璃襯底上成功異質外延出連續(xù)平整的準單晶氮化鎵薄膜，并制備了藍光發(fā)光二極管(LED)。相關成果7月30日發(fā)表于《科學》子刊《科學·進展》。
由于缺乏同質襯底，氮化物材料一直通過金屬有機化學氣相沉積在藍寶石、硅、碳化硅等單晶襯底上進行異質外延。但單晶襯底的尺寸、成本、晶格失配、熱失配、導熱導電性等限制了氮化物材料的發(fā)展。
研究人員巧妙地利用石墨烯的晶格來引導氮化物的晶格排列，在非晶玻璃上實現(xiàn)了氮化物的外延，得到了高質量的準單晶薄膜。他們進一步生長了藍光LED結構，其內量子效率高達48.7%。此外，他們充分利用界面處弱的范德華作用力，將生長的外延結構機械剝離并制備了柔性的LED樣品。
“這一成果是典型的‘從0到1’式的原創(chuàng)性突破，為石墨烯等二維材料的產(chǎn)業(yè)化應用提供了新思路，有望發(fā)展為氮化物變革性制備技術，解決先進半導體發(fā)展技術瓶頸，在新型顯示、柔性電子學等領域具有重要應用前景。同時，該技術通過異質外延減弱了氮化物對單晶襯底的依賴，對于擴大半導體外延襯底選擇范圍、豐富半導體異質外延概念、實現(xiàn)面向后摩爾時代的片上物質組裝和異構集成，具有重要意義。”劉忠范表示。(記者 馬愛平)
關鍵詞： 異質外延 準單晶氮化鎵薄膜 藍光發(fā)光二極管
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