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新方法為實(shí)現(xiàn)下一代金剛石基微電子芯片提供了一種全新的方法

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日期:2021-01-08 17:31:34    來(lái)源:科技日?qǐng)?bào)    

如何讓金剛石“聽(tīng)話(huà)”,像硅一樣實(shí)現(xiàn)芯片的基本功能?哈爾濱工業(yè)大學(xué)與香港城市大學(xué)、麻省理工學(xué)院等單位合作,在金剛石單晶領(lǐng)域取得重大科研突破,首次通過(guò)納米力學(xué)新方法,通過(guò)超大均勻的彈性應(yīng)變調(diào)控,從根本上改變金剛石的能帶結(jié)構(gòu),為實(shí)現(xiàn)下一代金剛石基微電子芯片提供了一種全新的方法。近日,該研究成果以“微納金剛石單晶的超大均勻拉伸彈性”為題在線(xiàn)發(fā)表于國(guó)際著名學(xué)術(shù)期刊《科學(xué)》。該研究為彈性應(yīng)變工程及單晶金剛石器件的應(yīng)用提供基礎(chǔ)性和顛覆性解決方案,展現(xiàn)了“應(yīng)變金剛石”在光子學(xué)、電子學(xué)和量子信息技術(shù)中的巨大應(yīng)用潛力。

據(jù)哈工大韓杰才院士團(tuán)隊(duì)成員、論文作者之一、航天學(xué)院朱嘉琦教授介紹,2018年陸洋團(tuán)隊(duì)首次報(bào)道納米級(jí)金剛石針可具有超大的彈性變形,局部彎曲彈性應(yīng)變達(dá)到9%以上,提供了調(diào)節(jié)金剛石能帶的另一種可能。但上述應(yīng)變嘗試往往局限于小樣本體積內(nèi),而彎曲導(dǎo)致應(yīng)變分布不均勻。本次研究在室溫下對(duì)長(zhǎng)度約1微米,寬度約100—300納米的高質(zhì)量單晶金剛石橋結(jié)構(gòu)進(jìn)行精細(xì)微加工,并在單軸拉伸載荷下實(shí)現(xiàn)了樣品整體范圍內(nèi)均勻超大彈性應(yīng)變。為展示應(yīng)變金剛石器件概念,團(tuán)隊(duì)還加工并實(shí)現(xiàn)了微橋金剛石陣列的彈性應(yīng)變。并進(jìn)一步通過(guò)計(jì)算可實(shí)現(xiàn)單晶金剛石多達(dá)2eV的帶隙降低,極其有利于微電子應(yīng)用。

本篇論文共同通訊作者分別為陸洋、李巨、朱嘉琦和Alice Hu。共同第一作者分別為黨超群、Jyh-Pin Chou、代兵和Chang-Ti Chou。(記者 李麗云)

關(guān)鍵詞: 金剛石

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